SVCS
SVCS
Çok Kullanışlı RF Plazma Reaktörü
Masa Tipi.Kaplama, etching ve ashing vb. gibi ARGE çalışmaları tek bir cihazda.
Solar Cell Üretim Ekipmanları
Wafer Boyutu : Kare standart 125mm, 156mm ve 210mm(veya özel boyut)
İşlem Gazları : SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2, H2, Ar, O2, N2O, N2, vb.
