Yüksek Verimlilikte Güneş Hücresi Üretimi
SVCS güneş hücresi üretim ekipmanları, yılların vermiş olduğu tecrübe ile güneş hücresi üretmek için yarıiletken sanayisinde kaliteli bir doğallık getirmektedir. SV SOL ailesi ürünleri fosfor veya boron katkılanması/difüzyonu için yatay kesikli difüzyon fırınları, yansıma önleyici kaplamalar ve pasifleştirme için PECVD veya LPCVD yatay kesikli fırınlar, hem seri üretim hem de ARGE alanları için ultra yüksek saflıkta gaz ve sıvı dağıtım sistemleridir.
Solar Cell Üretim Ekipmanları
Ekipmanlar
· Fosfor/ Boron Katkılanması/ Difüzyon (POCl3, BBr3, vs.) için Yatay Difüzyon Fırınları
· SixNy yansıma önleyici kaplama ve pasifleştirme için Yatay PECVD Fırını
· Yüksek Saflıkta Gazlar için Otomatik/Manual Gaz Kabinleri (SiH4, NH3, O2, vs.)
· Birçok fırına ve/veya diğer ekipmanlara bağımsız Gaz/Sıvı hattı için Otomatik/Manual Valf Manifold Kutuları
· Fırın Gaz Verici Kapları için Otomatik Kontrol Aygıtları (POCL3/BBr3, vs.)
· Otomatik fırın gaz verici kaplarının yeniden doldurulması için Bulk Sıvısı Ortam İletimi
· Sulu/Islak Oksidasyon için Yazay Difüzyon Fırınları (pasifleştirme, emitör maskeleme ve üretim sistemindeki diğer talepler için)
Furnace Systems Fırın Sistemleri
Wafer Boyutu : Kare standart 125mm, 156mm ve 210mm(veya özel boyut)
Solar Cell Üretim Ekipmanları
Uniformluk (minimum garanti)
Opsiyonlar
Wafer Dağıtım Otomosyonu (Wafer Transfer Sistemi, Boat Asansörü, Stocker, vs.)
Solar Cell Üretim Ekipmanları
Gaz Kabinleri
Gas Kabinleri ve Valf Manifold Kutuları
İşlem Gazları : SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2, H2, Ar, O2, N2O, N2, vb.
Aktarma Hızı : Boş olan gaz silindirleri dolu olan gaz silindiri ile otomatik olarak yer değiştirebilmektedir. Bu sayede Gaz Kabinleri duşuk ve buyuk
miktarda gaz partikullerini surekli ve kesilmeden sağlayabilmektedir.
Sıcaklık Kontrol Cihazı
Isıtma/Soğutma : +50/-20 C Rölatife Sıcaklıktan Ortam Sıcaklığına
Sıcaklık Kontrol Stabiletesi :0.1 °C
Stabilite Olma Zamanı : Maksimum 2 saat
Ayrıntılı Bilgi için lütfen iletişime geçiniz.
