2 sonucun tümü gösteriliyorEn yeniye göre sıralandı
Masa Tipi.Kaplama, etching ve ashing vb. gibi ARGE çalışmaları tek bir cihazda.
Wafer Boyutu : Kare standart 125mm, 156mm ve 210mm(veya özel boyut) İşlem Gazları : SiH4, NH3, B2H6, PH3, SiH2Cl2, H2, Ar, O2, N2O, N2, vb.
